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常用的真空炉真空系统真空系统真空热处理炉。真空系统 的三个基本要求 : 1)真空度要求真空热处理炉能快速抽真空。 2) 可排出炉内被加工工件和释放的各种气体,以及因真空泄漏而渗入炉体内的气体。 3)真空单元面积小,安全可靠,操作方便。 真空系统的组成 真空热处理炉的真空系统通常是由一个真空装置(真空泵)、控制和测量真空元件的真空元件组成。 1)真空泵机组。根据炉膛的工作压力和吸气量大小,分别选配不同的低真空泵、真空泵、高真空和超高真空泵。 2) 真空元件或元件。真空炉与真空泵之间装有各种真空元件或真字元件,如管道、密封件、法兰、波纹管、冷阱、过滤器和阀门等。 3)真空炉 测量系统,如真空计、真空计等真空测量仪器。 4)真空检漏仪、真空控制设备、充气装置。 真空炉品种、真空系统要求也不一样。在真空度上,有低真空、真空和高真空系统。以下是一些常见的真空系统。 1、低真空系统 低真空系统适用于真空度在2~1333Pa范围内的真空热处理炉,如预抽真空的低坑炉。大多数油封旋转机械泵以主泵为主。 2.真空系统 真空系统适应真空度在3×10~1.333Pa真空热处理炉范围内。真空热处理炉中应用最广泛的真空系统,通常由两个真空泵机组组成。主泵多采用旋转滑阀或机械泵机械泵,主泵机械增压泵(罗茨泵)或油增压器 3.高真空系统 高真空系统适用的真空度在6.6×10~1.333×10。帕系列真空热处理炉、真空退火炉、真空钎焊炉,通常由三个真空泵机组组成,通常主泵油扩散泵、离子泵,主泵多为机械泵或旋转滑阀机械泵 。 |